| GB/T 10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置标准基础信息 | |||
| 标准编号 | GB/T 10067.417-2023 | 标准名称 | 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置 |
| 批准日期 | 1995-01-29 | 实施日期 | 1995-09-01 |
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